全国 [切换]
关于我们

低温耦合等离子刻蚀机

免费样品检验 48小时发货 工厂直销
¥300万-1000万

产品规格:低温刻蚀、平板三螺旋天线PTSA、高选择比

公司所在地:重庆

产品库存:现货及定制

可供货地区:全国

其他说明:

刻蚀机可在-100°C左右的低温下实现深硅刻蚀。采用连续的SF6/O2刻蚀工艺,在侧壁上生成低温自钝化层。该工艺刻蚀后形成光滑的侧壁,在光学应用上非常重要。同时刻蚀工艺的高刻蚀速率可实现刻样传片。

展开

刻蚀机可在-100°C左右的低温下实现深硅刻蚀。采用连续的SF6/O2刻蚀工艺,在侧壁上生成低温自钝化层。该工艺刻蚀后形成光滑的侧壁,在光学应用上非常重要。同时刻蚀工艺的高刻蚀速率可实现刻样传片。收起

品牌:
SENTECH
型号:
SI 500、SI 500C等
功能:
刻蚀后形成光滑侧壁,在光学应用中非常重要
用途范围:
可在-100℃左右低温下实现深硅刻蚀
重庆眺...
重庆眺望科技有限公司
联系人:眺望科技
主营业务:美国AJA磁控溅射,离子刻蚀、电子束蒸发等PVD设备,先进电镀设备,ICP,PECVD,ALD,RIE等离子体工艺设备等,美国Film Sense多波长椭偏仪,ATL激光器以及徕卡LEICA光学显微镜
进入主页
模拟toast