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高真空电阻蒸发镀膜机（JJ2021（略）0164）延期公告
发布时间：2021-01-22 11:（略） 阅读量：22 次
延期信息
| 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2021-01-25 11:（略） 因报价情况不满足要求，采购方决定延期 |
| 高真空（略） | 项目编号JJ2021（略）0164 | |
| 2021-01-22 11:（略） | 公告（略）2021-01-25 11:（略）:（略） | |
| 南开大学 | 付款方式货到后7个工作日内付款 | |
| 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话中标后在我参与的项目中查看 | |
| 到货时间要求 | 合同签定生效后3个工作日内 | |
| NaN 未公布 | ||
| 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 南开大学津南校区电子信息与光学工程学院西楼 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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| 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2021-01-25 11:（略） | ||
采购清单 1
| 高真空电阻蒸发镀膜机 | 1 | 套 | 无 无 |
| 泰科诺 |
| ZHD3（略） |
| ￥ NaN |
| 一、整机简述 特点/用途 ZHD3（略）高真空电阻蒸发镀膜机配2组蒸发源，兼容金属材料蒸发与有机材料蒸发；该设备主机与控制一体化设计，PLC触摸屏控制，操控方便，结构紧凑，占地面积小；该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等，深受广大用户好评。 其主要用途有： 适用于镀制低熔点金属及合金材料薄膜，单层/多层/复合膜，例：（略） 适用于镀制非金属/化合物等材料薄膜；例：（略） 适用于有机材料蒸发； 适用于扫描电镜制样； 适用于太阳能电池、LED的研究和实验。 产品图片 （此图片仅供参考，最终以设计为准） 二、设备主要（略） 1.真空腔室 约直径3（略）*内高4（略）mm（最终以设计为准），304优质不锈钢真空腔室； 2.真空系统 复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统，数显复合真空计； 3.真空极限 ≤5.0×10-5Pa；（设备空载）； 4.漏 率 设备升压率：（略） 设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa； 5.抽 速 从大气抽至5.0×10-3Pa≤13min；（设备空载） 6.基片台尺寸 最大可镀基片尺寸/面积：Φ1（略）mm范围内可装卡各种规格基片； 7.基片台旋转 旋转速度：（略） 8.蒸发（略） 2对水冷式蒸发电极；1台3kW金属蒸发电源； 9.膜厚不均匀性 ≤±5%（基片台Φ80mm范围内）； 10.控制方式 PLC+触摸屏（略） 11.报警及保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应（略） 三、设备简（略） 1.真空腔室 ①结构：约直径3（略）*内高4（略）mm（最终以设计为准），304优质不锈钢真空腔室； ②主要接口装配位置：两组蒸发源接口从真空腔室底部引入；分子泵抽气口位于腔室底部；电磁放气阀接口位于抽气管道处；电离规接口位于腔室底座侧部；挡板、基片架接口从腔室底部引入； ③预留接口：预留基片台加热器及热电偶探头接口；预留标准CF35/CF50接口各1个（装国产膜厚仪以及其它用途）； 2.基片台 ①电机驱动旋转基片台，转速（略） ②基片台尺寸：Φ1（略）mm，基片台可从基片架组件中取出，方便用户安装基片； ③标准基片台均布配备簧片夹具，方便用户装卡各种不同规格尺寸的基片，基片台可按照用户要求个性化定制； 3.蒸发源及电源 ①蒸发源：4根铜水冷电极，合理分布组合成2组蒸发源，适应长时间稳定工作；样品到蒸发源距离：≥240mm；适用温度≤13（略）℃；蒸发源配手动挡板，源间配隔板，减少交叉污染； ②蒸发源及材料：可使用丝状源与舟状源，兼容金属材料及有机材料蒸发（有机材料蒸发使用钨篮与坩埚组合的蒸发源）；蒸发源材料可采用钨、钼、钽、石英坩埚或锥形陶瓷坩埚等。 ③蒸发电源：（略），最大电流3（略）A； 数量：1台，可切换供2对电极分时蒸镀；电流通过逆变式调控，稳定可靠： 4.真空系统 ①真空机组采用“涡轮分子泵+直联旋片泵”准无油真空系统；电磁前级阀；“（略）”数显复合真空计； ②分子泵型号：JTFB-3（略）Z脂润滑分子泵，抽速：3（略）L/S； ③机械泵型号：TRP-12直联旋片式真空泵，抽速：3L/S； ④电磁挡板阀型号：（略） ⑤真空测量：“（略）” 数显复合真空计，测量范围从1×105Pa到1×10-5Pa； ⑥真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封，不常拆静密封采用金属密封； 5.水冷（略） 给分子泵、蒸发电极配备独立的进、出水，可保证设备长时间稳定运行；总进水采用压力控制器检测水压状态，执行异常报警。总进、出水采用标准的水路宝塔接口连接用户现场供水系统； 6.电气（略） ①电气控制系统采用PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源采用手动控制，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索； ②控制内容：总电源、机械泵、前级阀的开与关；分子泵电源参数显示及开关控制；真空计参数显示及控制；基片台转速控制； ③安全保护报警系统：在缺水、水压过低情况下的报警系统； 在电源过流、短路等异常情况执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 控制（略）： 7.控制柜与机架 ①控制柜：控制柜与机架一体化设计，集成总控制电源、真空系统（略）等。 ②机架：碳钢制作，静电喷塑表面，支撑腔体（略），方便使用和维护；底下配脚轮，方便移动、定位。 四、设备使用工作条件（需方提供） 1.安装场地 ①设备尺寸为：长×宽: 11（略）mm×8（略）mm，安装场地尺寸≥16（略）×12（略）mm； ②环境温度：＜25℃，环境湿度：＜50%R.H；室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；远离射频等干扰源。 2.供电要求 ①设备供电总功率≥5（略）0W，AC380V，50Hz；三相五线制（三火一零一地）； ②其它：如用户增配冷却循环水机或其它选购件，需用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内。 3.供水要求 ①水压0.2～0.3MPa，水温（略） ②供水总出水、总回水管径为1″；供水距离设备尺寸≤2.5m。 五、设备主要配置清单 序号 部件名称 型号/参数 数量 生产厂家 1 真空腔室 Φ3（略）×H360mm，304优质不锈钢真空腔室 1套 ** 2 旋转基片台 最大可镀基片尺寸/面积：Φ1（略）mm 1套 泰科诺 3 蒸发源及电源 水冷蒸发电极 2根组成1组 2组 泰科诺 蒸发源配挡板，防止交叉污染 1套 泰科诺 蒸发电源：（略） 1台 泰科诺 4 真空系统 分子泵：JTFB-3（略）Z脂润滑分子泵，3（略）L/S 1台 世纪久泰 机械泵：（略） 1台 北仪优成 前级阀：（略） 1台 西马特 放气阀：（略） 1只 七星华创 数显复合真空计：（略） 1台 泰科诺 波纹管及真空管道：（略） 1套 泰科诺 密封件、连接件、防护罩及其附件 1套 泰科诺 5 水路系统 水排：（略） 1套 泰科诺 压力控制器：（略） 1套 泰科诺 6 电气控制系统 PLC+触摸屏控制方式； 完善的逻辑程序互锁保护系统 1套 泰科诺 7 机架控制柜 碳钢制作，表面喷塑、配脚轮、配门 1台 泰科诺 8 包装运输 1台 泰科诺 9 安装调试 1台 泰科诺 六、设备随机备件清单 序号 名称 型号/参数 数量 生产厂家 1 蒸发源 钼舟或钨舟 共20个 ** 钨蓝+石英坩埚组合 2套 ** 2 蒸发材料 铝颗粒 30克 ** 3 铜垫圈 CF35 2个 ** 4 装卡螺钉 设备相应规格 1批 ** 七、售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料 1.售后服务 ①产品质保（略） ②质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）； ③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由我公司承担； ④建立客户设备信息档案，随时跟（略），保证（略） ⑤在接到用户要求我公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于48小时内，赶到技术服务现场； ⑥对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费； ⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 2.安装调试验收 ①当货物到达需方指定的交货地点后，供需双方依据设备供货清单共同对设备进行开箱验收，并对设备的数量、品质进行逐项检查。如需方发现所提供设备的品质和技术规范不符合合同要求时，或有明显损坏，需方有权向供方提出更换或维修； ②如设备安装有特殊要求，供方应在设备安装之前向需方提出安装场地环境要求，并对需方就安装场地环境的咨询提供技术支持； ③在设备到达需方场地后，供方应尽快组织完成整套设备的安装调试； ④在安装、调试过程中，供方应对需方技术人员所提出的技术问题给予满意的答复，（略）法和维护方法； ⑤安装调试完毕设备运行满足各项合同指标后，供方可向用户提出验收申请，由用户组织验收，并提（略），并在验收报告上签字确认； ⑥安装和调试（略）。 3.培训 ①供方派技术工程师对需方人员进行技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的； ②供方应提供详细的培训课程讲义及培训； ③安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容； ④培训地点：（略） ⑤培训费用：（略） 4.文档资料 ①设备操作、维护使用说明书1套； ②设备电气原理图1套； ③设备易损件清（略） ④装箱单； ⑤设备出厂合格检验证明。 |
| 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
南开大学
2021-01-22 11:（略）
