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点击登录查看2023年4至12月政府采购意向-多功能接触式光刻机 详细情况
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| 多功能接触式光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 点击登录查看2023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 点击登录查看 |
| 采购项目名称： | 多功能接触式光刻机 |
| 预算金额： | 320.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103-电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 多功能接触式光刻机，本次购买的接触式光刻机面向先进封装技术的光刻及键合对准工艺，光强不均匀达到±2.5%、键合对准精度≤±1μm，正面套准精度±0.5μm，背面套准精度±1μm。兼容尺寸：6英寸向下兼容，质保期至少1年，供货周期10个月以内。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
