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Sputter(二手)设备安装调试

江苏苏州 全部类型 2023年03月24日
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点击登录查看2023年4至12月政府采购意向-****(二手)设备安装调试 详细情况

**** 18:03

****(二手)设备安装调试
项目所在采购意向: 点击登录查看2023年4至12月政府采购意向
采购单位: 点击登录查看
采购项目名称: ****(二手)设备安装调试
预算金额: 300.000000万元(人民币)
采购品目:
C0599-其他维修和保养服务
采购需求概况 :
****(二手)设备耗材及安装调试。实现四腔****的材料生长溅射能力。调试后真空可以达到如下指标:真空可以达到10-7Pa;微波等离子清洗;共溅射功能,变组分材料制备;超低的放电电压,低损伤成膜。长射程型实现良好的膜厚分布;溅射粒子能量控制,低速率控制,超薄膜形成;低温溅射。
预计采购时间: 2023-09
备注:
以实际公告为准

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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