Sputter（二手）设备安装调试

江苏苏州

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2023年03月24日

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（略）2023年4至12月政府采购意向-（略）详细情况

2023年（略）月24日 18:（略）

（略）
项目（略）：	（略）2023年4至12月政府采购意向
采购单位：	（略）
采购项目名称：	（略）
预算金额：	（略）
采购品目：	（略）
采购（略）：	Sputter（二手）设备耗材及安装调试。实现四腔Sputter的材料生长溅射能力。调试后真空可以达到如下指标：真空可以达到10-7Pa；微波等离子清洗；共溅射功能，变组分材料制（略），低损伤成膜。长射程型实现良（略），低速率控制，超薄膜形成；低温溅射。
预计（略）：	（略）
备注：	（略）