(略)2024年5月政府采购意向-(略) 详细情况
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项目所在采购意向: | (略)2024年5月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: |
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采购需求概况 : |
半导体材料(略),特别是晶圆刻蚀后,光波导上包层生长沉积工艺中,晶圆上存在高低起伏的形貌,无法对晶圆(略)。为实现大规模的三维光子芯片加工,或在晶圆上镀金形成电极实现光芯片的电子调控,就必须对晶圆的表面进行平坦化处理。实现该工艺的核心设备是化学机械抛光设备,因此,为完善平台工艺,新增化学机械抛光设备是完全必要的。
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预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开(略),具体采购项目(略)。