磁悬浮分子泵

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1、具有半导体行业应用经验； 2、需求数量：2台； 3、技术指标： 接口法兰：ISO-F；通径：DN200 抽速：1360 l/s（N2），1280 l/s（Ar)，940 l/s（He），540 l/s（H2） 压缩比:1E8（N2、Ar）,4E4（He），5E2(H2） 最终压力：<6×10-9 mbar 整体漏率：<5×10-8 hPa﹒l/s 启动时间：≤6 min 冷却方式：水冷 驱动方式：外置电子驱动单元 工作电压：200240 VAC (±10 %)，50/60 Hz 4、联系人：杨先生，电话****。