中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公告

（略）高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公告

一、项目编号：HZ（略）-0219（招标文件编号：0623-（略））

二、项目名称：（略）高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：（略）

供应商地址：中国（**）自由贸易试验区张衡路1000弄31-32号

中标（成交）金额：（略）

供应商名称：（略）

供应商地址：**省**市**望月湖街道银盆南路066号601房

中标（成交）金额：（略）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
1	（略）	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
2	（略）	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

何煌（主任评委）、刁一峰、朱丽琴、刘兴武、袁小明（业主评委）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：按国家计委计价格【2002】1980号文及发改办价格[2003]857号规定标准的77%收取，按中标金额计算。

本项目代理费总金额：（略）

七、公告期限

自本公告发（略）。

八、其它补充事宜

1、供应商投标情况：

第一包：（略）高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目

供应商信息名称	资格性审查结果	符合性审查结果	投标报价（元）	综合得分	推荐排名	是否成交候选人
（略）	审核通过	审核通过	（略）	77.56	1	是
昊臣机电（**）有限公司	审核通过	审核通过	（略）	76.6	2	是
**景帆国际进出口有限公司	审核通过	审核通过	（略）	68.22	3	是
**市晞灵国际贸易有限公司	审核通过	审核通过	（略）	67.19	4	否

第二包：（略）高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目

供应商信息名称	资格性审查结果	符合性审查结果	投标报价（元）	综合得分	推荐排名	是否成交候选人
**华图智能科技有限公司	审核通过	审核通过	（略）	98.22	1	是
**硕德科技有限公司	审核通过	审核通过	（略）	78.58	2	是
昊臣机电（**）有限公司	审核通过	审核通过	（略）	77.57	3	是
**摩世达科技有限公司	审核通过	审核通过	（略）	76.19	4	否
（略）	审核通过	审核通过	（略）	71	5	否

2、主要标的信息

第一包：（略）高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目
分项项目名称（标的（略）品目名称）		规格型号（或项目特征描述）	品牌	产地	数量/单位	金额（元）	备注
1	镀膜工艺腔	304不锈钢方形腔室	Kurt J.Lesker	美国	一台	85000
2	真空泵系统	CTI低温泵+爱德华干泵	EDWARDS	美国/英国	1套	（略）
3	真空测量系统	KJLC 392系列全量程真空计	Kurt J.Lesker	美国	1套	（略）
4	系统框架	开放式框架	Kurt J.Lesker	美国	1套	（略）
5	电子束蒸发系统	KL-8型电子枪、 6x20CC坩埚、	Kurt J.Le（略）	德国	1套	（略）
6	膜厚控制系统	软件集成膜厚控制	Kurt J.Le（略）	美国	1套	（略）
7	控制系统及工作	eKLipse TM软件	Kurt J.Lesker	美国	1套	（略）
8	配件（晶振片）	KJLCRYSTAL6-G10	Kurt J.Le（略）	美国	5盒	2500
9	配件（石墨坩	EVCFABEB-29	Kurt J.Lesker	美国	9个	9000
10	冷水机	H5-KJ,制（略）	同洲维普	中国	1套	30000
第二包：（略）高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目
分项项目名称（标的名称/条目号/ 品目名称）		规格型号（或项目特征描述）	品牌	产地	数量/单位	金额（元）	备注
1	主反应腔室	AJA 304 S/S不锈钢超高真空反应腔体，腔室尺寸15.6 高 x 14 外径	AJA	美国	1 套	（略）
2	样品台	最大容纳直径（略），温控精度 n;1℃	AJA	美国	1 套	（略）
3	磁控溅射靶枪	AJA 2 英寸超高真空磁控溅射靶枪；靶枪采用稀土磁铁，可以承受 200℃ 高温和 10（略）真空环境	AJA	美国	6 套	（略）
4	射频电源	AJA 300W射频电源，自动匹配网络，含电缆	AJA	美国	2 套	（略）
5	脉冲（略）	TruPlasma DC 4000系列脉冲直流电源2KW	TRUMPF	德国	1 套	（略）
6	真空泵组	主腔室一套：Pfeiffer 700 l/s宽量程涡轮分子泵以及8.8 cfm (NeoDry15)干式机械泵预真空室一套：80l/s宽量程复合涡轮分子泵以及4cfm机械前级泵	Pfeiffer	德国	2 套	（略）
7	电源转换器	SBRF-4-A（射频）/SBDC-4-A（脉冲直流）	AJA	美国	2 套	50000
8	气路	MKS质量流量控制计（Ar-100sccm, O2、N2（略）），带气动隔离阀和过滤器	MKS	美国	3 路	（略）
9	预真空室	配有磁性传送臂、带定制样品托盘衬托器、全量程真空计、手动插板阀	AJA	美国	1 套	（略）
10	膜厚监控系统	SQM-160	Inficon	瑞士	1 套	50000
11	工作站及控制系统	Phase II-J	AJA	美国	1 套	（略）
12	水冷机	CW6000AN	特域	中国	1 个	18000
13	耗材（常用靶材）	常用靶材总共6个：Al, Ni, Ge, ITO, NiO, TiO2	中诺新材	中国	6 个	22800
14	耗材（加热灯丝）	定制	定制	中国	10 个	58000

3、公告期限

自本公告发布之日起一个工作日。投标供应商如对此公告有异议的，请于此公告发布之日起七个工作日内，以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。

4、其他补充事宜

本次中标公告同时在中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）（略）校园网（http://tz.its.csu.edu.cn/）、（略）采购与招标管理中心网（http://czzx.csu.edu.cn/）上发布。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：（略）

地址：（略）

联系方式：（略）

2.采购代理机构信息

名称：（略）

地址：（略）

联系方式：张女士王女士（略）

3.项目（略）

项目联系人：（略）

电话：（略）