当前位置：
公告类型：询价 发布时间： （略）5:44:35 截止时间：（略）
统一信息编码：（略）
专业领域：（略）
1、具有半导体行业应用经验； 2、需求数量：2台； 3、技术指标： 接口法兰：ISO-F；通径：DN200 抽速：1360 l/s（N2），1280 l/s（Ar)，940 l/s（He），540 l/s（H2） 压缩比:1E8（N2、Ar）,4E4（He），5E2(H2） 最终压力：<6×10-9 mbar 整体漏率：<5×10-8 hPa﹒l/s 启动时间：≤6 min 冷却方式：水冷 驱动方式：外置电子驱动单元 工作电压：（略） VAC (±10 %)，50/60 Hz 4、联系人：杨先生，电话（略）。
信息来源：http://（略）mil.cn/cggg/jggg/（略）.shtml
