公告类型:询价 发布时间: 2024-05-16 15:44:35 截止时间:2024-05-24
统一信息编码:(略)
专业领域:(略)
1、具有半导体行业应用经验; 2、需求数量:2台; 3、技术指标: 接口法兰:ISO-F;通径:DN200 抽速:1360 l/s(N2),1280 l/s(Ar),940 l/s(He),540 l/s(H2) 压缩比:1E8(N2、Ar),4E4(He),5E2(H2) 最终压力:<6×10-9 mbar 整体漏率:<5×10-8 hPa﹒l/s 启动时间:≤6 min 冷却方式:水冷 驱动方式:外置电子驱动单元 工作电压:(略) VAC (±10 %),50/60 Hz 4、联系人:杨先生,电话(略)。
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