8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉

8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉 - 评标结果公示公告 项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉 招标项目编号：（略） 招标范围：设备名称：立式合金炉 设备数量：1台 设备用途：用于器件加工中的合金工艺。 设备 名称：立式氧化炉 设备数量：2台 设备用途：用于器件加工中的高温氧化工艺。 设备名称：立式 退火炉 设备数量：2台 设备用途：用于器件加工中的高温退火工艺。 招标机构：中国仪器进出口集团有限公司 招标人：**华鑫微纳集成电路有限公司 开标时间：（略）9:30 公示开始时间：（略）5:24 评标公示截止时间：（略）7:00 中标候选人名单： 候 选 制造商国别及地 人 投标商名称 制造商 区 排 名 **北方华创微 **北方华创微 1 电子装备有限公 电子装备有限公 中国 司 司 中国电子科技集 中国电子科技集 2 团公司第四十八 团公司第四十八 中国 研究所 研究所 Tokyo Electron Tokyo Electro 3 日本  Limited n Limited 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名） 招标人或其招标代理机构：___________________（盖章）