空心阴极反应离子镀设备采购意向

空心阴极反应离子镀设备 项目所在采购意向： 点击登录查看 2022 年 4 月采购意向 采购单位： 点击登录查看 采购项目名称： 空心阴极反应离子镀设备 预算金额： 85 万 采购品目： 采购需求概况 ： 空心阴极反应离子镀设备是利用空心阴极枪在弧光放电过程中发 射电子流轰击坩埚，熔融膜材。而通过弧光放电形成的高密度等离子 体使金属原子的离化率大大增加，达到20-40%，可以更方便地沉积高 质量反应膜层。具有离化率高，高能中性粒子密度大，绕镀性好，低 电压，大电流，操作安全、方便等特点。空心阴极反应离子镀设备可 用于半导体薄膜和透明导电薄膜的沉积，与传统磁控溅射设备相比， 具有更低的磁控电子轰击能量，薄膜损伤小，这是研究院太阳能电池 等领域重要的基础设备之一，是在新型太阳能电池的商业化制备路线 中不可缺少的。因此，反应离子镀设备是衔接实验室技术成果对接企 业生产需求的重要技术平台。该设备与实验室已有的热蒸发设备具有 很好的互补性。经过该设备的搭建，可以拓宽材料的研究范围，提升 器件的封装水平和长期稳定性，对太阳能产业化路线的论证至关重 要，幵为企业培养合格生产后备技术人才。 技术要求： 沉积材料：TCO材料、金属Ti、Cr、Mo，氮化物TiN等硬质膜材 料 沉积温度：低于100 oC 沉积面积：不小于100×100 mm（单片） 沉积速率：大于30 nm/min 预计采购时间： 2022-04 备注： 本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情 况以相关采购公告和采购文件为准。