| 项目名称 | 原子力扫描系统采购项目 | 项目编号 | **** |
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| 公告开始日期 | **** 15:28:06 | 公告截止日期 | **** 17:00:00 |
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| 采购单位 | 点击登录查看 | 付款方式 | 预付50%，验收后30日内付50% |
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| 联系人 | | 联系电话 | |
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| 签约时间要求 | | 到货时间要求 | 签约后180个自然日 |
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| 预算总价 | ￥490000.00 |
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| 发票要求 | |
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| 含税要求 | |
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| 送货要求 | |
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| 安装要求 | |
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| 收货地址 | 杭州市**** |
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| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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| 公告说明 | |
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采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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| 原子力扫描系统 | 1 | 套 | |
| 品牌 | |
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| 型号 | |
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| 预算单价 | ￥ 490000.00 |
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| 技术参数及配置要求 | 1、AFM测头扫描系统一套（能适配真空环境，包含激光器装置、PSD装置、XYZ轴压电扫描器、辅助光学成像装置等），扫描范围XY方向最大100μm×100μm,Z方向最大10μm；2、AFM探针托定位装置（能适配现有专用的SThM热学探针托装置）3、AFM探针托一套（能适配APPNANO公司的扫描热探针）4、X轴电动位移台一套（能适配真空环境，负责AFM扫描头的X方向位置移动）：行程200mm，定位精度2μm；5、Y轴电动位移台一套（能适配真空环境，负责晶圆样品的Y方向位置移动）：行程200mm，定位精度2μm；6、Z轴电动升降台一套（能适配真空环境，负责晶圆样品的位置升降和趋近）行程20mm，定位精度2μm；7、真空吸附式样品载物台一套（负责晶圆样品扫描测试时的固定）；8、龙门架机械结构装置一套（能适配真空环境，用于安装AFM扫描头、X轴电动位移台、Y轴电动位移台、Z轴电动升降台、样品载物台等）9、气浮式被动隔振台一套（需定制设计，用于承载AFM机台装置、真空腔体装置，隔绝地面振动噪音对AFM扫描测试的影响）：系统高度噪音RMS≤0.05nm |
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| 参考链接 | |
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| 售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:7x8小时;服务年限:一年;服务时限:报修后12小时;质保期:一年; |
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信息来源：http://www.yuncaitong.cn/publish/****/20LOWL1MHLS5M21M.shtml
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