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南京大学刻蚀（ALE）设备招标预告(原标题: 原子层刻蚀（ALE）设备)

江苏南京 全部类型 2025年04月08日
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点击登录查看2025年4至5月政府采购意向-原子层刻蚀（ALE）设备 详细情况
原子层刻蚀（ALE）设备
项目所在采购意向： 点击登录查看2025年4至5月政府采购意向
采购单位： 点击登录查看
采购项目名称： 原子层刻蚀（ALE）设备
预算金额： 860.000000万元(人民币)
采购品目：
A**** 半导体器件参数测量仪
采购需求概况 ：
点击登录查看拟采购原子层刻蚀设备系统一套，主要采购需求如下：1.腔室：不锈钢/铝材制成；2.真空双腔结构；3.最大可放置直径8英寸晶圆；4.ICP电源+反应区****
预计采购时间： 2025-05
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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