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| 项目所在采购意向： | 点击登录查看2025年05月政府采购意向 |
| 采购单位： | 点击登录查看 |
| 采购项目名称： | 点击登录查看采购氧化扩散炉项目 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:氧化扩散炉；主要功能或目标:通过高温下硅片表面与氧化剂的反应，生长一层二氧化硅膜，包括干氧氧化和水汽氧化，在硅片表面制备氧化层；对硅半导体进行掺杂，通过高温条件，将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，建立起不同的电特性区域；需满足的要求:两管氧化扩散炉，适用于6英寸硅片，恒温区长度合理，温度控制精度高，炉管间24h稳定性（三区干扰温度波动小），气体自动，气体流量控制精确，自动进出舟，保证每炉硅片数量合理。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
