小型台式无掩膜光刻机(****)采购公告
发布时间:**** 11:43
▎采购清单
物品名称 | 采购数量 | 计量单位 | 预算单价 |
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| 小型台式无掩膜光刻机 | 1 | 台 | 未公布 |
参考品牌型号: 请响应厂商必须备注品牌及型号,否则视为无效响应 ,- 技术参数与配置: 1、曝光类型:单面;2、曝光面积:110×110mm;3、曝光照度不均匀性:≤±3%;4、曝光强度:≤30mw/cm2,可调范围10%~100%;5、紫外光束角:≤3゜;6、紫外光中心波长:365nm;7、光源质保期:1年;8、采用电子快门;9、曝光分辨率:1μm;10、显微镜扫描范围:X: ±15mm Y:±15mm;11、对准范围:X、Y 调节 ±4mm;Q向调节±3°...展开 售后质保: 免费培训,1年2次巡检。质保三年,质保期后整机每年维保价格不高于设备成交价的5% 产品资质要求: 无 |
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参考品牌型号: 请响应厂商必须备注品牌及型号,否则视为无效响应 ,- 技术参数与配置: 1、曝光类型:单面;2、曝光面积:110×110mm;3、曝光照度不均匀性:≤±3%;4、曝光强度:≤30mw/cm2,可调范围10%~100%;5、紫外光束角:≤3゜;6、紫外光中心波长:365nm;7、光源质保期:1年;8、采用电子快门;9、曝光分辨率:1μm;10、显微镜扫描范围:X: ±15mm Y:±15mm;11、对准范围:X、Y 调节 ±4mm;Q向调节±3°...展开 售后质保: 免费培训,1年2次巡检。质保三年,质保期后整机每年维保价格不高于设备成交价的5% 产品资质要求: 无 |
四川大学华西医院
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