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一、项目概况
（一）项目编号：****
（二）项目名称：全自动清洗机
（三）项目内容及需求：
1、 数量：1套。
2、 交期：90日历天。
3、 技术要求：
（1） 适应8寸标准划片后晶圆，带UV膜和金属框架（见附图），用户提供结构图纸或者样品。
（2） 晶圆传输方式：专用料盒cassette、采用折臂式机械手自动传输，干进干出，机械手重复精度：X，Y，θ≤±0.1mm，传送过程中晶圆采用夹持方式，保证传输过程无异常掉片现象。
（3） 自动上下料盒机构，8英寸专用料盒cassette，上下料使用2个专用料盒Scassette，用户提供专用料盒。
（4） 机台运行流程：上料专用料盒→机械手自动扫描→机械手自动取片→机械手放片至清洗腔→工艺完成后机械手取片至下料位→下料专用料盒。
（5） 去胶清洗工艺流程：ACE/EKC+N2二流体清洗正面→IPA冲洗正面→DIW+N2二流体清洗正面、DIW冲洗背面→IPA冲洗正面→离心甩干+N2干燥正面、背面。
（6） 晶圆定位方式：主轴系统微孔陶瓷吸盘固定，边缘立柱定位。
（7） 主轴转速范围：50rpm～ 3000rpm，±3rpm。
（8） 化学液种类：一种是ACE/EKC溶液；一种是IPA溶液。第三条溶液管路备选。
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。
7、未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。
以上证明资料统一发至****@guide-infrared.com，并抄送至审计邮箱****@guide-infrared.com。
（二）特定资格要求：
1、参与企业为货物的生产商（从事行业经验1年以上）或代理商（代理时间不少于1年），公司注册资金≥100万。
2、本次招标不接受联合体投标。
3、参与企事业单位必须具备相应资质的质量保证能力。
三、供应商资料递交截止时间和地点
（一）截止时间：2025-8-11 12:00
（二）地点：武汉市****
四、联系事项
商务联系人：翟智鹏 电话：****
技术联系人：黄工 电话：****
电话：****
邮箱：****@guide-infrared.com
网络举报二维码：
2、党委办公室：
电话：****
邮箱：****@163.com
