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| 项目名称 | 单室高真空电阻式镀膜设备 | 项目编号 | **** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | **** 14:51:57 | 公告截止日期 | **** 16:00:00 |
| 采购单位 | 点击登录查看 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 联系电话 | ||
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 成交后7个工作日内 | |
| 预算总价 | ￥405000.00 | ||
| 发票要求 | |||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 点击登录查看海宁国际校区1A楼二楼210 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 单室高真空电阻式镀膜设备 | 1 | 台 | 物理光学仪器 |
| 品牌 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ 405000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 镀膜设备由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架和电控系统组成，真空室前门可与手套箱对接，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。 1、真空室腔体：1套 1) 外形：优质304不锈钢方型前后开门真空室腔体1套，尺寸: 长500宽400高550mm，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，前后门各配DN100视窗1套，内衬版1套； 2) 底部：金属源接口1套，有机源接口9套，美国MCVAC水冷膜厚探头接口4套, CF25照明接口2套； 3) 顶部：样品台接口1套，气动挡板接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套； 4) 侧壁：JCDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套，JTFB-1300风冷分子泵接口1套预留法兰若干； 5) 腔体漏率：整体漏率优于5×10^-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。 2、蒸发源系统：1套 1) 金属源1套：水冷铜电极1组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，直流电源1台，可切换，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过SQC310C膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率； 2) 有机源9套：采用铠装加热丝，安全洁净，最高加热温度：700℃，配4CC石英玻璃舟，采用气缸挡板，翻盖开关，采用直流电源5台，通过日本导电温控表进行PID精确温度控制，（也可通过触摸屏控制温度）温控精度±1℃，温控表显示精度0.1℃； 3) 隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。 3、样品台系统：1套 1) 基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调； 2) 基片升降：衬底与蒸发源间距240-340mm，电动升降，通过触摸屏控制连续可调； 3) 基片挂架：130mm*130mm抽屉式托架，基片台制冷加热循环，温度：-50℃～+250℃。； 4) 基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，速度平稳。 5) 额外样品托3套。 4、真空泵机组：1套 1) VRD-30双级泵1台； 2) DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台； 3) KF40泵阀连接软管1套； 4) GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台； 5) JTFB-1300风冷分子泵1台； 6) CCQ-200CF气动超高真空插板阀1台； 7) CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台； 8) GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台； 9) ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10^-5Pa）。 5、膜厚检测系统：1套 1) 膜厚仪：采用SQC310C石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜，探头：四通道；显示以及控制精度：0.01/秒，频率分辨率0.01Hz，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率； 2) 膜厚探头：美国MCVAC进口水冷膜厚探头4套，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用胶圈锁紧密封结构。 6、设备机架：1套 1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑； 2) 3英寸万向轮4件，移动调整； 3) M16地脚4件，锁紧定位。 7、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置） 1) 烘烤照明电源：1台； 2) 总控制电源1台，配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。 8、其他技术参数： 1) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能； 2) 供电：～220V单相供电系统（峰值4KW）； 3) 供水：制冷加热循环机，冷却温度-50℃～+250℃； 4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门； 5) 极限真空：优于5×10^-5Pa，大气至6×10^-4Pa时间小于30分，充干燥氮气。 主要配置： 真空室腔体： 1)真空室腔体 1套； 2)真空室后门 1套； 3)真空室前门 1套； 蒸发源系统： 1)金属源 1套； 2)金属源电源 1套； 3)有机源 9套； 4)有机源电源 5套； 样品台系统： 1)样品台组件 1套； 2)样品台测温机构 1套； 3)样品台挡板 1套； 真空泵机组： 1)双级泵 1台 2)真空电磁充气阀 1台； 3)真空泵连接管道 1套； 4)高真空气动挡板阀 1台； 5)水冷脂润滑分子泵 1台； 6)气动超高真空插板阀 1台； 7)超高真空气动挡板阀 1台； 8)高真空气动挡板阀 1台； 9)数显真空计 1套； 膜厚监测系统： 1)石英晶振膜厚监控仪 1套； 2)进口水冷膜厚探头 4套； 设备机架： 1)机架主体 1套； 2)制冷加热循环机 1套； 3)小型无油静音气泵 1套； 电控系统： 1)烘烤照明装置 1套； 2)烘烤照明电源 1台； 3)总控电源 1套； 配件： 1)金属蒸发钨舟10件，钽舟10个； 2)石英坩埚16件； 3)烘烤照明灯管以及灯罩各2件； 4)前后门胶圈各1套； 5)晶振片2盒，每盒10片； 6)CF16无氧铜圈5件； 7)CF35无氧铜圈5件； 8)CF50无氧铜圈2件； 9)CF200无氧铜圈2件； 10)130*130mm方形托架4套，如承载20*20mm基片16片（含掩膜板，根据客户要求设计）。 11)观察窗内衬玻璃4个 12)内六角维修工具一套 技术服务 1. 设备安装调试： （1）安装地点：点击登录查看海宁国际校区**** |
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| 售后服务 | 电话支持:7x8小时;质保期:1年;服务时限:报修后4小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
信息来源：http://www.yuncaitong.cn/publish/****/20MDZM20WUXWI3GK.shtml
