真空主动减振器减振单元和控制器

A****机械设备零部件,A****电气设备零部件

真空主动减振器减振单元2套，每套含4个减振单元和1个控制器，用于在真空环境中承载特定的试验设备，提供高性能主动减振功能，并满足相应的机械及水电气接口约束，符合规定的可靠性及寿命要求，零部件国产化率 gt;95%，提供相应的承载能力、被动隔振能力，以及释气率、泄露率、温度波动等要求。振动主动减振器控制器用于采集真空主动减振器减振单元中的相关传感器的信号，通过高性能振动主动控制算法（程序），驱动控制真空主动减振器减振单元中的相关执行器，实现高性能主动减振功能。控制器须满足与减振单元之间的机械及水电气接口约束，信号采集及驱动通道数，并符合相关的EMI等要求。