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点击登录查看2025年10月政府采购意向-电子束曝光机 详细情况
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 点击登录查看2025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 点击登录查看 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 3800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 电子束曝光机，2台，电子束曝光机要求为：1）分辨率：≤50 nm；2）加速电压：1–100 kV；3）光斑尺寸：≤16 nm；4）真空度： lt;10 Torr；5）定位精度：≤1 nm。供货期：签订合同之日起，24个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
