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上海交通大学深硅刻蚀设备招标预告(原标题: 深硅刻蚀设备)

上海 全部类型 2025年09月12日
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深硅刻蚀设备
项目所在采购意向: 点击登录查看2025年10月政府采购意向
采购单位: 点击登录查看
采购项目名称: 深硅刻蚀设备
预算金额: 780.000000万元(人民币)
采购品目:
A****其他仪器仪表
采购需求概况 :
深硅刻蚀设备,1台,深硅刻蚀设备要求为:1)刻蚀深度:10–500 μm;2)深宽比: gt;20:1;3)刻蚀速率:1–10 μm/min;4)侧壁垂直度:≥ 89°。供货期:签订合同之日起,24个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间: 2025-10
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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