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点击登录查看高真空电阻蒸发镀膜设备
采购公告
点击登录查看（以下简称“采购人”）对高真空电阻蒸发镀膜设备采购组织询价采购，有关本次采购的基本信息如下：
一、项目概况与招标范围：
1、项目名称：高真空电阻蒸发镀膜设备采购。
2、采购地点：点击登录查看。
3、进度要求：合同签订后 60日内交货并验收完毕。
4、质量要求及服务内容：产品应是全新原装（包括零部件）的正规行货，质量符合国家现行的相关行业标准/企业标准的规定，确保质量合格；提供送货上门及售后服务。
5、采购内容及规格要求：
| 序号 | 名称 | 规格参数 | 数量 |
| 1 | 真空腔室 | 结构：采用不锈钢底座+玻璃钟罩结构；材料及尺寸：不小于Φ300×H360mm真空腔室；其中，底座采用 SUS304优质不锈钢，钟罩采用磨口玻璃；镀膜腔室（包括管道、连接法兰等）均进行清洁处理，表面电抛等处理，以减少“出气”量，有利于真空度的提高及耐腐蚀；所有焊缝连接采用氩弧焊接技术，内表面抛光处理。主要接口装配位置：两组蒸发源接口、挡板接口、基片架接口从真空腔室底部引入；分子泵抽气口位于腔室底部；电磁放气阀接口位于抽气管道处；电离规接口位于腔室底座侧部；预留接口：装膜厚仪以及其它用途。 | 1套 |
| 2 | 基片台 | 基片台尺寸可承载 6英寸样品，承载最大样品尺寸小于 6英寸样品；可从基片架组件中取出，方便用户安装基片；配备通用夹具，方便用户装卡各种不同规格尺寸的基片；基片台电机驱动：旋转转速 0～20转/分钟，连续可调；主轴磁流体密封。 | 1套 |
| 3 | 蒸发源及电源 | 4根铜水冷电极，合理分布组合成 2组蒸发源，适应长时间稳定工作；样品到蒸发源距离≥260mm；适用温度≤1300℃（真空状态）；蒸发源及材料：可使用丝状源与舟状源，蒸发源材料可采用钨、钼、钽、石英坩埚或锥形陶瓷坩埚等，主要用于金属材料蒸发；蒸发电源：功率 3kW，最大电流 300A，可切换供多组电极分时蒸镀；电流通过逆变式调控，稳定可靠；蒸发源配手动挡板，源间配隔板，减少交叉污染。 | 2组 |
| 4 | 真空系统 | 高性能脂润滑分子泵：抽速 300L/s；直联高速旋片式真空泵：抽速 3L/s，抽速快，低噪音；电磁挡板阀：DN25；放气阀：φ6，电磁截止阀；真空测量：“一低一高” （两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空）数显复合真空计；测量范围从 1.0×105Pa到 1.0×10-5Pa；波纹管材质：SUS304不锈钢；真空密封：常拆卸密封采用氟橡胶圈密封，不常拆卸密封采用金属密封。 | 1套 |
| 5 | 水路系统 | 总进水设有检测水压装置，检测水压状态，执行异常报警；总进、出水采用标准的水路宝塔接口连接用户现场供水系统。 | 1套 |
| 6 | 电气控制系统 | 电气控制系统采用 PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源采用手动控制，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索；控制内容：分子泵、机械泵、阀门开关；分子泵电源参数显示及开关控制；真空计参数显示及控制；基片台转速显示和控制；安全保护报警系统：在缺水、水压过低等情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统。 | 1套 |
| 7 | 膜厚监测仪 | 单探头，原装晶振片一盒 | 1套 |
| 8 | 控制柜与机架 | 控制柜：控制柜与机架一体化设计，集成总控制电源、真空系统控制、蒸发电源电流显示及控制、蒸发电源切换控制等；机架：碳钢制作，静电喷塑表面，支撑腔体与真空系统；整体设备左侧配备一块可折叠防滑桌面，方便放置实验材料等；前后配门，方便使用和维护；底下配脚轮，方便移动、定位。 | 1套 |
| 9 | 循环水机 | 制冷量 2.85KW。 | 1台 |
二、响应人资格及要求：
1、具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；
2、须在中华人民共和国境内注册并已按规定时间通过年检，具有本项目的经营范围；
3、具有完善的服务体系，近三年内未受过行业处理和相关行政处罚。
三、报名时间、地点与要求：
1、报名时间：2025年 9月 12日——2025年 9月 14日
2、报名地点：点击登录查看物电学院 239房间
3、报名要求：响应人需提供企业法定代表人证明或法人授权委托书，授权人身份证及被授权人身份证、企业营业执照（副本）、组织机构代码证（副本）、税务登记证（副本）（或三证合一证书）。以上证件验原件，留加盖单位公章报价单一份。
四、谈判响应性文件接收信息：
1、递交报价响应文件截止时间：2025年 9月 14日
2、递交地点：点击登录查看物电学院 239房间
五、联系事项：
采购人：点击登录查看
地 址：河南省焦作市****
联系人：点击登录查看
联系电话：****
邮 编：454000
邮 箱：****@hpu.edu.cn
2025年 9月 12日
