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高分辨场发射透射电子显微镜招标公告

江苏苏州 全部类型 2025年10月28日
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高分辨场发射透射电子显微镜 招标公告

发布时间:****

一、项目名称:高分辨场发射透射电子显微镜

二、招标编号:****

三、招标人:点击登录查看

地址:江苏省苏州市****

邮编:215021 传真:****

联系人:点击登录查看 电话:****,****

电子邮箱:****@suda.edu.cn

技术联系人:申老师 电话:****

电子邮箱:****@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

高分辨场发射透射电子显微镜 1套

(一)主要技术参数及配置要求

1场发射透射电子显微镜

1.1仪器可实现功能

可实现材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构、成分分析等功能,主要应用于材料科学,化学,石油化工,电子等方向。

1.2基础配置要求

1.2.1肖特基场发射电子枪

1.2.2恒功率物镜

1.2.3全自动光阑系统

1.2.4 STEM探测器:配置BF、ADF、HAADF-STEM环形探测器,16分割探测器;配备图像计算的处理软件

1.2.5 TEM相机:一体化快速CMOS相机,可实现动态高速拍摄和录像

1.2.6 能谱探测器

1.2.7全自动压电陶瓷样品台

1.3基础参数指标要求

1.3.1信息分辨率:120pm;STEM分辨率:160pm

1.3.2加速电压范围:60kV~200kV

1.3.3最大会聚角:100mrad

1.3.4 TEM相机:使用电压:60kV~200kV,尺寸:4,096×4,096像素,像素大小:大于等于14×14 μm2

1.3.5放大倍数:100M倍

1.4 4D-STEM相机

1.4.1 探测器类型:采用Si芯片耐受辐照直读探测器;

1.4.2探测器探测能量范围:覆盖不小于30-300keV范围;

1.4.3探头安装方式:可伸缩底装;

1.4.4探测器动态范围≥108el/s/pixel;

1.4.5像素尺寸≤150μm×150μm;

1.4.6探测速度≥120KHz;

1.4.7探测器像素数量≥128×128;

1.5原位液相系统:采用纳米通道技术,SiN窗口厚度≤10nm,液膜厚度20 nm~500 nm;倾转角度不低于±60°。

1.6安装前供应商需提前对场地进行测试,保证场地对设备性能没有影响,如设备震动磁场超标所造成的后期场地改造费用,由供应商承担。

2场发射扫描电子显微镜

2.1电子光学系统

2.1.1电子枪:场发射灯丝,单根灯丝寿命不少于36个月;

2.1.2分辨率≤0.5nm @15 kV

≤0.8nm @1 kV;

2.1.3放大倍数:20~1,000,000倍,粗、细调模式连续可调,根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准;

2.1.4着陆能量范围大于等于20eV~30 kV;

2.1.5束流稳定性:优于0.2% /h;

2.1.6透镜系统:电磁/静电复合式透镜会聚系统,可对弱铁磁性和易磁性材料进行高分辨成像;在1kV加速电压以下,对不导电样品进行高分辨成像;

2.1.7能谱仪分析时,工作距离≤10mm;

2.2样品室及样品台

2.2.1样品舱室可直接放入的样品最大样品直径不小于100mm;

2.2.2配备五轴优中心马达驱动样品台,最大移动范围:X≥110 mm,Y≥110 mm,Z≥50 mm,T≥-15°~+70°,R= 360°连续旋转

2.2.3配置多功能旋钮操作控制面板;

2.2.4配备样品座;

2.3探测器

2.3.1配备镜筒内二次电子探测器2个,高效接收高角度二次电子,获得样品极表面形貌信息,进行高倍率的不导电样品拍图;配备镜筒内低位背散射电子探测器1个;

2.3.2样品室内二次电子探测器,可接收低角度二次电子信号;

2.3.3样品室内红外CCD相机观察系统,与SEM软件集成一体,SEM拍摄时可以同时CCD监控样品台情况;

2.3.4样品电流探测器,可探测测试样品表面电流,帮助调整测试条件;

2.3.5可进行多通道成像,四分屏上可同时进行四个不同信号成像;

2.4真空系统

2.4.1三级无油真空系统,前级机械泵,分子泵,离子泵均为原装进口;

2.4.2样品室真空度:高真空模式不低于6×10-4Pa,电子枪真空度:优于10-7Pa;

2.5数字图像记录系统

2.5.1图像存储分辨率:最大扫描和成像像素不小于64k×64k,可对样品进行大视野高分辨成像,无需进行拼图,适合生物切片类,膜材料等多类样品高效大面积分析;

2.5.2图像显示不小于1024×768像素;

2.5.3图像记录格式:TIFF、BMP或JPEG等;

2.5.4计算机系统配置不低于:Intel i5处理器,16GB DDR4内存;256GB固态硬盘,1TB机械硬盘;独立显卡;DVD刻录机;24 LCD显示器。Windows 10操作系统;

2.5.5可自动调节:全自动镜筒合轴、全自动图像调整、电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿;

2.5.6具有图像漂移校正功能,尤其适合不导电类样品的无喷金拍图;

2.6电子束束闸

2.6.1加装beam blanker,用于拓展升级电子束曝光功能;

2.6.2与电子束曝光相关组件结合,通过曝光显影工艺,实现50nm以下的精细光刻图形。

2.7 配备能谱仪

2.7.1探头类型:硅漂移探头(电制冷)有效面积大于等于70 mm2以上,可对材料的元素成分和形貌同时进行表征;

2.7.2能量分辨率:优于129 eV@Mn Kα;

2.8 集成等离子清洗

2.8.1样品室内集成等离子清洗设备,可进行样品室的自动等离子清洗。

2.9 其他要求:配备1根以上灯丝,后期可免费上门更换。

2.10安装要求

2.10.1供应商须负责完成设备安装及房间必要的水电改造工程,确保后期设备的稳定运行。

2.10.2提供电子束曝光组件的移机和调试服务。

(三)服务要求

1. 提供现场免费安装、调试,进行操作试验,直至运行正常并出具检验证明;

2. 提供两名仪器操作人员免费线上操作及维护培训,并在每年组织不定期的设备升级与培训;

3. 整机免费保修期不少于1年,在保修期内,供货商在接到用户维修要求时,应在48小时之内给予答复,并派出维修人员在一周内到达用户现场进行维修服务。

五、投标单位资质要求

(一)具有独立承担民事责任的能力;

(二)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

(三)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

(四)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

(五)近三年内,在经营活动中没有重大违法记录;

(六)本项目不接受联合体投标。

六、评分标准

本次招标采用综合评分法,总分为100分,具体内容如下:

(一)针对中小企业、残疾人福利企业和监狱企业的评审(加分):

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库〔2020〕46号)、《江苏省财政厅关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》(苏财购〔2022〕45号)、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》(财库〔2017〕141号)和《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库〔2014〕68号)的有关规定,对于符合上述文件规定情形的小微企业、残疾人福利性单位及监狱企业报价给予10%的扣除,用扣除后的价格参与评审,如扣除后的价格为最低价的,则作为评标基准价,中标金额则以实际投标报价为准。残疾人福利性单位属于小型、微型企业的,不重复享受政策。

小微企业提供《中小企业声明函》;监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件;残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》。

注:

①填报“中小企业声明函”需严格按“工信部联企业〔2011〕300号通知中的《中小企业划型标准规定》进行。

②若供应商提供的声明函或认定证明为虚假材料,按“政府采购法”相关规定处理并报请政府监管部门给予行政处罚。

根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》(财库〔2020〕46号)及《中小企业划型标准规定》(工信部联企业〔2011〕300号),本采购标的对应的中小企业划分标准所属行业为:工业。

(二)技术参数、配置及整体综合性能分(50分)

1.技术参数及配置(35分)

投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料(测试报告或产品说明书)等作为评标依据,否则视为偏离。

(1)所投标产品多项不满足招标文件要求(偏离),或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,经评标委员会评审可作为无效投标。

(2)所投标产品不满足招标文件技术要求的(偏离)、配置不详、技术参数不清或缺漏项的,每处扣3分。

2.综合性能情况(15分)

(1)所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况(评委会认为超出指标有意义的)(6分)。其中优于项,每处加2分。

(2)所投产品的市场反馈情况(9分)。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

(三)价格分(35分)

1.评标基准价:满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价,评标基准价为满分35分;

2.其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算:投标报价得分=(评标基准价/投标报价)×35分。

(四)综合商务(15分)

1.投标人综合实力(2分)

根据投标人综合实力评定。

2.售后服务与培训情况等(10分)

(1)质保期(3分)。符合招标文件要求的,得1分,每增加一年质保期加1分。

(2)服务、技术支持与培训承诺情况(6分)。

根据投标文件的相关承诺,在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3.其它优惠措施等(3分)。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外,评标委员会认可的优惠措施综合评定。

七、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

八、投标文件的组成

(一)投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

(二)投标文件二(文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价,否则作废标处理)

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明:

1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封,并加盖投标单位公章

2、“投标文件一”,正本一份,副本一份

“投标文件二”,正本一份,副本五份

3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求,按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、各投标人在投标前,须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在****12:00前将报名函(格式见附件4)发送邮件至采购人处(****@suda.edu.cn)。

十一、递交投标文件相关事宜:

(一)顺丰快递邮寄方式(建议优先采用)

1.寄达时间:****9:00前;

2.收件人信息:

收件人:点击登录查看

联系方式:****

收件地址:江苏省苏州市****

(二)现场递交方式

1.递交时间:****8:30~9:00

2.递交地点:江苏省苏州市****

十二、投标截止时间:****9:00。

十三、开标时间:****9:00。

招标附件.zip.zip

附件包:
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