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等离子体表面处理系统(JJ25001081)采购公告

辽宁沈阳 全部类型 2025年11月10日
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项目名称 等离子体表面处理系统 项目编号 ****
公告开始日期 **** 19:18:33 公告截止日期 **** 21:00:00
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联系人 联系电话
签约时间要求 到货时间要求 签约后3个工作日内
预算总价 ¥95000.00
发票要求
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 老校部1楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明

采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
等离子体表面处理系统 1 其他电工、电子专用生产设备
品牌 PLUTOVAC
型号 PLUTO-M
预算单价 ¥ 95000.00
技术参数及配置要求 "★1. 真空腔规格: 经过检漏测试的316 不锈钢腔体,直径215mm*(深)235mm 2. 电极:搭载一块RF 气浴电极,一块平板电极,材质航空6061-T6 铝合金 3. 电极尺寸:125*125mm 间距48mm(可调节) 4. 电极极性:可相互转换正负极,调整等离子体平衡性 ★5. 等离子体发生器:RF 射频发生器,频率:13.56MHz 自适应阻抗匹配电源 6. 耦合方式:电容耦合CCP ★7. 功率:0-200W 连续可调,精度1W,可在设备运行中随时调整参数 8. 气体控制:针式气体流量阀,60-600ml,2 路气体 9. 真空计:电偶式真空压力传感器,精度:1Pa 10. 吹扫:具有吹扫功能,可设置吹扫次数 11. 控制方式:4.3 寸工业控制触摸屏,手动控制和自动控制两种控制方式 (1)全过程手动操控,可随时调整参数 (2)控制软件功能:界面显示实时工作状态, (3)可显示设置值各项参数,运行时显示实际值,便于实时控制。 (4)可自由设置等离子功率,精度为1W (5)可自由设置进气时间和气体稳定时间,精度为秒 (6)可设置两组工艺参数叠加运行 ★12. 一键启动控制方式,真空泵启动关闭由设备控制,无需人工干预 13.系统包含配套使用干泵"
参考链接
售后服务 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;商品承诺:原厂全新未拆封正品;整机质保3年,提供24小时远程技术支持。售后响应时间2小时以内。;;;

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