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东北大学高温CVD招标公告(原标题: 高温CVD（JJ25001077）采购公告)

辽宁沈阳 全部类型 2025年11月10日
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项目名称 高温CVD 项目编号 ****
公告开始日期 **** 19:14:52 公告截止日期 **** 21:00:00
采购单位 点击登录查看 付款方式
联系人 联系电话
签约时间要求 到货时间要求 签约后3个工作日内
预算总价 ￥78500.00
发票要求
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 老校部1楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
高温CVD 1 台 其他电工、电子专用生产设备
品牌 合肥科晶
型号 GSL-1700X
预算单价 ￥ 78500.00
技术参数及配置要求 "1.采用ABB电器元件 2.炉腔尺寸：290mm 220mm 160mm； 3.最高温度可达1700℃（≤0.5h）； 4.可实现多段温控程序精准控温； 5.设有开门断电功能，提高了实验的安全性 7.电源：AC220V 50/60HZ 8.功率：5.5KW 9.额定使用温度：1650℃ 10.最高使用温度：1700℃（≤0.5h） 11.建议升温速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到1600℃：≤5℃/min；1600℃以后：≤2℃/min。 12.加热元件：硅钼棒 13.热电偶：B型 14.石英管尺寸：80*1000mm 15.采用一对ss304不锈钢高真空法兰与高温硅胶密封圈密封；两个针阀已分别安装在两个法兰上，一个真空压力表安装在一侧法兰上，出气端法兰包含一个φ8mm宝塔气嘴的出气口 16. PID自动控温系统，控温精度：±1℃，智能化50段可编程控制，通过MET认证。 17. 供气系统：四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%） 18. 流量范围：一路0-100 sccm ，二路0-200 sccm ，三路0-200 SCCM，四路0-500 SCCM 19. 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置 20. 采用双旋真空泵；真空度可达 10-2Torr，配防腐真空计"
参考链接
售后服务 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;商品承诺:原厂全新未拆封正品;整机质保3年，提供24小时远程技术支持。售后响应时间2小时以内。;;

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