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2026年08月01日
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| 12吋SOI晶圆 | |
| 项目所在采购意向： | 点击登录查看2026年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 点击登录查看 |
| 采购项目名称： | 12吋SOI晶圆 |
| 预算金额： | 255.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****PVC石英砂制成品 |
| 采购需求概况 ： | 本次拟采购12吋SOI晶圆，500片。具体指标要求：顶层硅厚度误差≤±5nm，表面粗糙度<0.15nm，晶格缺陷密度≤0.05个/cm2，电阻率偏差控制在<±10%，埋氧化层厚度片内均匀性<1nm，SOI晶圆总厚度偏差≤2μm,弯曲度、翘曲度均符合12吋晶圆量产级标准，无明显应力集中点。 |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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