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中国科学院微电子研究所招标预告

北京 全部类型 2026年08月01日
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12吋硅晶圆
项目所在采购意向: 点击登录查看2026年8月政府采购意向
采购单位: 点击登录查看
采购项目名称: 12吋硅晶圆
预算金额: 114.000000万元(人民币)
采购品目:
A****PVC石英砂制成品
采购需求概况 :
本次拟采购12吋晶圆 3000片。具体指标要求:硅晶圆的金属杂质总含量控制在ppb级,尺寸(≥0.1μm)的表面颗粒≤10个/片,整片翘曲度控制<30μm,总厚度变化≤2μm,表面平整度适配高精度临时键合工艺要求,无明显边缘崩缺与晶格损伤,可稳定支撑厚度低至20μm的超薄晶圆完成全流程制备。
预计采购时间: 2026-08
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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