面板厂加速扩产苹果专用OLED，筹备LTPO设备招标公告

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LG Display将为京瓷坡州AP5产线低温多晶氧化物（LTPO）工艺建设采购所需溅射设备，这是该公司今年4月公布的1.1万亿韩元OLED新产线投资计划的配套落地举措。行业消息8月14日透露，LG Display正在敲定AP5产线LTPO工艺所用溅射设备规格、协调合作厂商供货量，设备引进方案已正式敲定，目前仅需在多款设备规格中确定最终配置方案。

AP5是一条专为生产苹果iPad LTPO薄膜晶体管（TFT）打造的6代产线，2024年实现量产，近期该产线也同步用于智能手机OLED面板生产。目前LG Display坡州AP5产线月投入玻璃基板约15000片；公司计划新建一条月产能7500片的产线，目标2028年投产，届时整体基板月投入量将提升至22500片。

LTPO融合了低温多晶硅（LTPS）TFT与氧化物TFT两种技术；兼具LTPS电流驱动能力强、氧化物漏电流低的双重优势，可动态调节屏幕刷新率，大幅降低设备功耗，是苹果高端平板、手机面板的核心技术方案。

LG Display会根据LTPO工艺不同薄膜层需求，配套对应溅射设备，现阶段同步评估两类设备：适配单一工艺、针对性优化的标准型；可兼容多道工序的复合型溅射机。溅射设备是LTPO背板氧化物半导体薄膜的核心制造装置，在真空环境下将氧化物材料沉积至玻璃基板；氧化物膜层制售前、后，还需戳磨等离子处理、热处理、曝光显影、蚀刻等上下游工序设备。

业内消息称，Avaco、Albac等设备厂商正在参与本次供货竞标。一位行业相关人士表示：“据了解，LG Display正与Avaco、Albac等设备企业协商AP5 LTPO溅射机的工艺配置与硬件规格；现阶段同时评估标准型、复合型两类方案，只有设备类型确定后，各家供应商的采购订单规模才能最终确定。”

本次设备招标采购，是LG Display今年4月公布的1.1万亿韩元OLED新设施投资的落地环节，整体投资周期持续至2028年6月，核心目标是在AP5产线搭建起可研发、量产新一代中小尺寸OLED的完整产能体系。

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此前LG Display已选定鲜系统（Sunic System）作为AP5产线6代OLED蒸镀设备供应商，蒸镀工序配套的真空物流设备供货方案也已敲定；后续还将陆续采购溅射机等LTPO工艺改造所需全套配套设备。

据悉LG Display同步对此两类设备方案：标准型针对特定薄层、固定工艺条件做性能优化；复合型可灵活适配多种工序工房。企业将综合对比设备产能、工艺兼容性、投入成本，敲定最终硬件规格。

为何溅射设备采购晚于蒸镀设备？

采购顺序由产线工艺联动逻辑决定：必须先确定整套蒸镀系统与产线整体布局，才能明确溅射工序需要沉积的膜层材质、加工顺序、设备摆放位置。行业常规流程为：先敲定蒸镀机、真空物流设备，再下发溅射设备采购订单（PO）。

业内预测，溅射设备供应商筛选工作将在本月内全部收尾。LG Display规划2027年二季度完成设备装机，最晚需在2027年4月前完成全部设备进厂。

显示用溅射设备属于定制化非标装备，需根据客户专属工艺定制生产；规格确认后，还要历经设备设计、零部件采购、整机组装、厂内自检、客户验收多道流程；设备进厂后，仍需完成真空管路、电路对接、工艺参数调试、试生产等装机工作。若要赶上2027年4月进厂节点，8月底实质上是下达采购订单的最后期限。

另一位行业业内人士表示：“APS溅射设备规格确定进度比最初预期滞后，为保障明年4月按时进厂，本月内必须敲定设备配置与各厂商供货总量。”

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