上海
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2026年10月11日
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| 短波光源及测量分析系统 | |
| 项目所在采购意向： | 点击登录查看2026年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 点击登录查看 |
| 采购项目名称： | 短波光源及测量分析系统 |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 短波光源及测量分析系统，一套。用于产生6.X的短波波长，并实现辐射强度与稳定性分析，通过干涉方式实现光刻胶线条曝光。中心波长：6.7nm；重复频率≥10Hz；位移精度不低于10nm；光探测器感光面不低于200*500像素。供货周期合同签订后12个月，质保2年。 |
| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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