工程和技术研究和试验发展；半导体器件专用设备制造；半导体材料生产设备制造；电池生产专用设备制造；集成电路生产设备制造；集成电路封装、测试设备制造；平板显示器件生产设备制造；薄膜太阳能电池片制造设备制造；晶硅太阳能电池片制造设备制造；微机电系统生产设备制造；锂离子电池生产设备制造；其他未列明通用设备制造业；其他专用设备制造；其他未列明专业技术服务业；其他科技推广服务业；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）

工程和技术研究和试验发展；半导体器件专用设备制造；半导体材料生产设备制造；电池生产专用设备制造；集成电路生产设备制造；集成电路封装、测试设备制造；平板显示器件生产设备制造；薄膜太阳能电池片制造设备制造；晶硅太阳能电池片制造设备制造；微机电系统生产设备制造；锂离子电池生产设备制造；其他未列明通用设备制造业；其他专用设备制造；其他未列明专业技术服务业；其他科技推广服务业；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）收起