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点击登录查看 - 竞价结果公告(****)
发布时间:**** 12:50:34
申购单号: ****
申购主题: 紫外光刻机
采购单位: 点击登录查看
竞价开始时间: **** 16:00:22
竞价截至时间: **** 09:00:00
币种: 人民币
付款方式: 货到验收合格后付款
备注说明:
质疑说明: 如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额: 98000.00
送货时间: 合同签订后7天内送达
安装要求: 免费上门安装(含材料费)
收货地址:
| 采购项 | 品牌 | 单项预算 | 成交单价 | 质保及售后服务 | 技术参数 | 数量 | 型号 | 成交总价 | 成交供应商 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 桌面型掩膜对准紫外光刻机 | 中芯热成 | 99000.00 | 98000.00 | 质保1年 | ※1、 曝光类型:单面; ※2、 曝光面积:110×110mm; ※3、 曝光照度不均匀性:≤±5%; ※4、 紫外光束角:≤5° ※5、 紫外光中心波长:365nm; ※6、 紫外光源时间:≥8 万小时; 7、 采用电子快门; 8、 曝光分辨率:2μm; ※9、 显微镜扫描范围:X:±50mm,Y:±50mm; 10、 对准范围:X、Y 调节±6.5mm,Z向移动范围10mm,Q 向 360°粗调,±5°精调; ※11、 套刻精度:2μm ※12、 光刻胶:正性光刻胶 12、 曝光方式:接触式曝光; 13、 显微系统:单目 CCD 显微系统,2000 倍金相同轴光显微镜;光学放大倍数 0.7X-4.5X;高清 2K 工业 CCD 相机;LED 同轴光源;13.3 寸挂屏; ※14、 掩模版尺寸:≤127×127mm; ※15、 基片尺寸:≤Φ102mm; 16、 基片厚度:≤5mm; ※17、 曝光定时:0~999.9 秒(可调); ※18、外形尺寸:603mm×535mm×723mm(高度不含支脚) 19、 电源:单相 AC220V 50HZ; 20、 设备所需能源:220V±10%,50HZ; | 1.0台 | XT-01-UV litho-手动 版 | 98000.00 | 中芯热成科技(北京)有限责任公司 |
