等离子体清洗器项目中标公示表

项目名称

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采购预算

45000

采购需求

（品牌/型号及技术参数或服务内容等）

1、仪器名称：等离子体清洗器

1.1、主要用途：硅片清洗

1.2、工作条件：40-80%RH，环境温度：5-40℃，适用电源： 220V±10%；50Hz；

2、技术指标

2.1、舱体容积：≥5L

2.2、射频电源频率：13.56MHz

2.3、射频功率：0～300W

2.4、真空泵抽速：≥2 m3/h

2.5、工作真空度：≤100 Pa

3、技术参数

3.1、5寸彩色触摸屏操作界面。

3.2、具备手动、自动两种工作模式。

3.3、微电脑控制清洗全过程，支持全自动运行。

3.4、气路标配双气路，最大可扩展至四气路，浮子流量计手动调节。

3.5、属于非破坏性分子级表面清洗设备，可去除样品表面有机污染物。

3.6、具备气压阈值安全保护，超阈值自动切断高压。

3.7、清洗介质为工艺气体，可避免样品二次污染。

3.8、采用平行等离子激发板，电容式等离子激发。

3.9、样品腔支持多层样品盘，样品盘高度可分阶调节放置。

4、基本配置：主机（触摸显示屏）、电源线、说明书、合格证、真空泵

询价供应商

名称及报价

1

广东省帆泽国际贸易有限公司

40000元

2

江西博和科技有限公司

44600元

3

江西德慧科技有限公司

42680元

成交供应商

信息

单位名称

广东省帆泽国际贸易有限公司

成交价格

40000元

联系人

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联系电话

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公示时间

（不少于1个工作日）

自****至****

采购工作小组成员名单

李平华 丁立稳 苗龙飞 张天锦

招标采购中心监管电话

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备注