1、 系统概述1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2 防腐装置；1.3 设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；1.4 通信接口，蓝牙连接2、处理腔体2.1 处理腔体内径不小于300毫米；2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-200mm直径的材料，方片178x178mm，无需更换片托；2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；3、旋转马达3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm，3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；4、控制系统4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s；4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；5、配套泵浦5.1 配套无油真空泵：220/50Hz；5.2 真空吸附范围：真空度-660mmHg，流量20l/min及以上；6、系统附件6.1 原装进口水平测试仪； 6.2 两袋密封圈； 6.3 配有两套可更换的废液接收单元；7、制造厂商证书要求7.1 已通过ROHS认证；7.2 已通过NIST标准认证； 7.3 已通过EC认证（欧盟标准符合性证明书）； |
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