技术指标： 1、标配同轴卡盘，配三轴超低漏电2、CT-1000水平电磁铁可配合探针台使用，为4英寸晶圆施加水平磁场，磁场强度优于1000Gs3、重量 35公斤左右 4、尺寸: 约450mm长*460mm宽*550mm高 5、4" 圆形形卡盘，采用中心真空吸附孔和多圈真空吸附环固定样品，每个真空通道均独立控制卡盘带1个香蕉头接口，可以接背电极使用 6、标准卡盘中心吸附孔为1mm直径，数量2个，可以根据客户要求定制 7、卡盘采用X-Y平移滑台形式，X/Y方向的行程是:4英寸*4英寸，调节控制精度:5微米8、长方形加宽针座平台，精磨镀镍 9、卡盘的旋转角度：360度 10、卡盘角度可旋转微调±7.5°，调节精度0.1° 11、卡盘电学独立悬空，带香蕉头插口，可以作为背电极使用 12、卡盘微调升降，总行程10mm，调节控制精度1微米 13、支持探针卡夹具和探针卡安装，台面预留探针卡夹具安装孔 14、★配置一套S参数测量模块：频率范围100 kHz-20GHz，支持双端口测量，动态范围125dB，幅度分辨率0.05dB，输出功率设置范围-40 dBm ~ +10 dBm，支持LAN，USB Device，USB Host（USB-GPIB）通信，支持SCPI/ Labview/ IVI based on USB-TMC/ VXI-11/ Socket/ Telnet/ WebServer远程控制15、配置清单（附件）：网络分析仪*1，（CCS-300）高温卡盘*1，（40-GSG-XXX-AA）射频探头*4，（MZDH0850C）单筒视频显微镜*1，高精度探针座（精度0.35 微米）MTP-150*2，（XFCAM1080PHB）CCD相机*1，27寸显示器*1，（MTP-100-RF ）射频探针调节机构*2，GSG探针校准基片*2，有源探针夹具12C*1。 | 
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