金属氧化物薄膜沉积系统磁控靶更换项目(20250200169)

申购单主题：金属氧化物薄膜沉积系统磁控靶更换项目

申购单位：理学院

设备1

设备名称：磁控靶更换项目

品牌：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

型号：2寸

数量：1.0

报价类型：国内含税价/人民币

售后服务：保修到期后提供远程指导服务

规格：1.匹配高真空磁控溅射薄膜沉积系统（型号TRP450）2寸磁控靶1件，包含靶头＋靶枝干＋靶支座。 2.更换损坏的磁控靶，安装调试新的磁控靶是否能正常启辉。 3.价格包含1次上门人工费、差旅费、维修费、拆装费、调试费、住宿费和税费等所有费用。